A kis energiájú elektronok spektrometriája, azaz energiaeloszlásuk pontos meghatározása lehetővé teszi szilárdtestminták felületété alkotó elemek kémiai kötéseinek elemzését, bennük lezajló  átalakulások nyomon követését, valamint az eredményekből következtetni lehet szerkezeti jellemzőkre is.

A röntgen-fotoelektron spektroszkópia (XPS) kiváló módszer szilárd minták felületi elemzésére. A legfelső, 6-10 nm vastag felületi réteg kémiai állapotairól ad információt. A műszer a SPECS (Berlin) által gyártott Al/Mg ikeranódos, nem monokromatizált sugárforrással és a Phoibos 100 MCD-5 sorozatú félgömb alakú energiaanalizátorral rendelkezik. A műszerben az alapvákuum 5×10^-9 mbar. A mérésekből kapott spektrumokat a CasaXPS programmal dolgozzuk fel. Ez a fotoelektron-spektrométert közös vákuumrendszer kapcsolja össze a SNMS/SIMS tömegspektrométerrel, így lehetővé válik a minták komplex vizsgálata nagy-tisztaságú körülmények között.

A mérésekből kapott spektrumokat a CasaXPS programmal dolgozzuk fel. Ez a fotoelektron-spektrométert közös vákuumrendszer kapcsolja össze a SNMS/SIMS tömegspektrométerrel, így lehetővé válik a minták komplex vizsgálata nagy-tisztaságú körülmények között.