Magnetronos porlasztó

INFRASTRUKTÚRA

Az ultravákuum kivitelű vákuumrendszerrel rendelkező magnetronos porlasztó berendezés néhány atomsor vastagságú, jó minőségű éles határfelületekkel rendelkező vékonyrétegek vagy  multirétegek előállítását tetszi lehetővé.

Főbb kutatási területünk a fém, félvezető vagy szigetelő anyagokból készült rétegek/multirétegek termikus stabilitásának, a végbemenő diffúziós keveredések és szilárdtest reakciók vizsgálata.