atomki-mslab-logoatomki-mslab-logoatomki-mslab-logoatomki-mslab-logo
  • Kezdőlap
  • Kutatás
    • Irányvonalak
    • Együttműködések
    • Publikáció
      • Folyóirat publikáció
      • Poszter
  • Laboratórium
    • Az ATOMKI-ról
    • Rólunk
    • Infrastruktúra
    • Munkatársak
    • Digitalizáció
    • Elnyert pályázatok
      • Gazdaságfejlesztési és Innovációs Operatív Program
      • Nemzeti Kulturális Alap
      • Új Nemzeti Kiválóság Program
      • Kooperatív Doktori Program
    • Díjak
    • Kapcsolat
  • Események
✕

Direct surface patterning of amorphous chalcogenide layers with high-energy H+ and He+ ion beams

FOLYÓIRAT PUBLIKÁCIÓ

S. Molnar, R. Bohdan, Gy. Nagy, I. Rajta, L. Illes, A. Csik, S. Kokenyesi

Journal of Materials Science: Materials in Electronics 30(16) (2019) 15331-15338 Impact factor2019: 2.220

DOI: 10.1007/s10854-019-01906-9

Published: 22 July 2019

Abstract

As (Ge)–S (Se) based amorphous bulk chalcogenide glasses and layers have been used for surface geometrical relief recording by 2 MeV energy H+ and He+ ion-beams. The formation of giant (height modulation from nanometers up to micrometers) geometrical reliefs (dots, lines), have been investigated. Efficiency of surface patterning was compared for selected compositions, type of ion beam and conductivity of substrates. Comparisons with optical and e-beam recording were made with aim to establish the details of relief formation mechanisms. The results show applicability of high-energy ion beams for in situ fabrication of planar optical elements on the surface of chalcogenide glasses (bulk samples or amorphous films).

Vissza a FOLYÓIRAT PUBLIKÁCIÓ oldalra
Megosztás

Keresés

✕

Kategóriák

  • Díjak
  • Ferenczi György Emlékdíj
  • Folyóirat publikáció
  • GINOP
  • Ipari megoldások
  • Kooperatív Doktori Program
  • Kultúra és oktatás
  • Kutatási irányvonal
  • Nanostruktúrák szintézise
  • Nemzeti Kulturális Alap
  • Orvosi implantátumok funkcionalizálása
  • Pályázatok
  • Poszter
  • Publikáció
  • ÚNKP
  • Űrkutatás

Konzorciumi pályázat

Konzorcium vezető:
Debreceni Egyetem

Copyright © 2023 Atomki – Minden jog fenntartva!
  • No translations available for this page