A másodlagos semleges-részecske/ion tömegspektrométer (SNMS/SIMS) vékonyrétegekben és felületi bevonatokban kialakuló koncentráció-eloszlások nanométeres feloldással történő vizsgálatára nyújt lehetőséget.

Alkalmas akár 1-2 nm egyedi rétegvastagságú többrétegű rendszerek, felületi bevonatok összetevői mélységi eloszlásának vizsgálatára, vagy a felülethez képest mélyebben fekvő határrétegek összetételének kutatására. Segítségével vizsgálhatóak a félvezető és polimer rendszerek adalék komponenseinek mélységi eloszlása is.