Másodlagos-semlegesrészecske/ion tömegspektrométer (SNMS/SIMS)
INFRASTRUKTÚRA
A másodlagos semleges-részecske/ion tömegspektrométer (SNMS/SIMS) vékonyrétegekben és felületi bevonatokban kialakuló koncentráció-eloszlások nanométeres feloldással történő vizsgálatára nyújt lehetőséget.
Alkalmas akár 1-2 nm egyedi rétegvastagságú többrétegű rendszerek, felületi bevonatok összetevői mélységi eloszlásának vizsgálatára, vagy a felülethez képest mélyebben fekvő határrétegek összetételének kutatására. Segítségével vizsgálhatóak a félvezető és polimer rendszerek adalék komponenseinek mélységi eloszlása is.
Műszaki paraméterek | |
Porlasztó gázok | Ar, Ne, Kr, Xe |
Tipikus porlasztási sebesség | ~0,1 nm/s |
Ionenergia | 100 eV – 2 keV |
Tömegspektrométer | Balzers QMG 422 |
Mérhető tömegtartomány | 0 – 340 amu |
A detektálás alsó határa | 1 ppm |
Mélységi feloldás | 1-2 nm |
Mintatartó | 600 oC-ig fűthető |
-180 oC-ig hűthető | |
x – y irányban mozgatható |