Másodlagos-semlegesrészecske/ion tömegspektrométer (SNMS/SIMS)

INFRASTRUKTÚRA

A másodlagos semleges-részecske/ion tömegspektrométer (SNMS/SIMS) vékonyrétegekben és felületi bevonatokban kialakuló koncentráció-eloszlások nanométeres feloldással történő vizsgálatára nyújt lehetőséget.

Alkalmas akár 1-2 nm egyedi rétegvastagságú többrétegű rendszerek, felületi bevonatok összetevői mélységi eloszlásának vizsgálatára, vagy a felülethez képest mélyebben fekvő határrétegek összetételének kutatására. Segítségével vizsgálhatóak a félvezető és polimer rendszerek adalék komponenseinek mélységi eloszlása is.

Műszaki paraméterek
Porlasztó gázok Ar, Ne, Kr, Xe
Tipikus porlasztási sebesség ~0,1 nm/s
Ionenergia 100 eV – 2 keV
Tömegspektrométer Balzers QMG 422
Mérhető tömegtartomány 0 – 340 amu
A detektálás alsó határa 1 ppm
Mélységi feloldás 1-2 nm
Mintatartó 600 oC-ig fűthető
-180 oC-ig hűthető
x – y irányban mozgatható