Infrastruktúra

LABORATÓRIUM

KUTATÁSI ESZKÖZÖK

Röntgendiffraktométer

Röntgen-fotoelektron spektroszkópia (XPS)

Másodlagos-semlegesrészecske/ion tömegspektrométer (SNMS/SIMS)

Molekulasugaras epitaxia (MBE)

Profilométer

Magnetronos porlasztó

Alacsony energiájú ion spektroszkópia (LEIS)

Pásztázó szondás mikroszkópia (SPM)

DE SZILÁRDTEST FIZIKAI TANSZÉKKEL KÖZÖSEN ÜZEMELTETETT

Atomi rétegleválasztás (ALD)

Kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp (FIB-SEM)